| Module | Title | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|
| Microsystems development | Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 568081 | | Mi 05.08.2026 09:00-10:30 BS 218 (2130|218) |
| Entwicklung von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | | 560372 | Do 08:15-12:15 t.b.d. (×12) | |
| Entwicklung von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | | 560372 | Do 08:15-12:15 t.b.d. (×12) | |
| Ultra-Precision Technology I | Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 567467 | | Mo 07.09.2026 13:00-17:00 Extern |
| Ultrapräzisionstechnik I | Vorlesung/Übung | | 560932 | | |
| Ultra-Precision Technology: Machines | Ultra-Precision Technology: Machines | Fach-/Modulprüfung | 6 | 567473 | | |