| Module | Title | LV Type | CP | LV | Dates | Examination |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Microsystems development | Entwicklung von Mikrosystemen | Fach-/Modulprüfung | 6 | 568081 | ||
| Entwicklung von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | 560372 | Do 08:15-12:15 t.b.d. (×12) | |||
| Entwicklung von Mikrosystemen | Vorlesung/Übung | 560372 | Do 08:15-12:15 t.b.d. (×12) | |||
| Ultra-Precision Technology I | Ultrapräzisionstechnik I | Fach-/Modulprüfung | 6 | 567467 | ||
| Ultrapräzisionstechnik I | Vorlesung/Übung | 560932 | ||||
| Ultra-Precision Technology: Machines | Ultra-Precision Technology: Machines | Fach-/Modulprüfung | 6 | 567473 |